Flow Control Packages

Asahi’s patented Ultrasonic Flow Meter Technology and Dymatrix™ Pinch Valves make Falconics™ the ultimate choice for flow control of CMP slurry. Our ultrasonic technology creates a directionally concentrated and repeatable flow signal despite bubbles and temperature fluctuations. Asahi’s proven Dymatrix™ pinch Valve offers the most durable and reliable valve for aggressive slurry. Together, these features provide highly accurate control and fast response times, which generates a strong ROI.


Ideal Applications Include: 
CMP Slurry


Flow Ranges:

50 – 500 mL/min
25 – 250 mL/min

3% S.P.                                                                                

1.5% S.P.                                                                                    

Response time:
< 3.0 sec                                                                                              

Shut off speed:
< 3.0 sec                                                                                     

Operating Pressure:
14.5 – 43.5psi                                                                                   

Flush Pressure*:
80 psi                                                                                            

Medium Temperature:
59 – 95° F (15 – 35° C)

End Connections:

1/4” Flare or S300

24 VDC                                                                                             

Current Draw:
0.4 Amp                                                                                           

Output Signals:
4-20mA, 0-5V, 0-10V                                                                       

Signal Connection:
RS 485                                                                                               

Purge Flow Rate:
20 L/min (ANR)                                                                                

Purge Connector:
5/32” OD